提升精度需从传感器、算法、环境控制三方面入手。传感器方面，采用高分辨率激光位移传感器（如基恩士LK-H050，分辨率0.01μm）可捕捉微小厚度变化；算法上，通过滤波处理消除振动干扰，或采用多点平均法降低随机误差；环境控制中，恒温车间（±1℃）可减少热胀冷缩对测量结果的影响。例如，某精密加工企业通过安装空气净化系统，将检测环境粉尘浓度降至0.1mg/m³，使机械测头重复性误差从±0.5μm降至±0.2μm。
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